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液氬
標準:GB∕T 4842-2017
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項目
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指標
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高純氬
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純氬
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氬(Ar)純度(體積分數)/10-2 ≥
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99.999
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99.99
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氫(H2)含量(體積分數)/10-6 ≤
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0.5
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5
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氧(O2)含量(體積分數)/10-6 ≤
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1.5
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10
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氮(N2)含量(體積分數)/10-6 ≤
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4
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50
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甲烷(CH4)含量(體積分數)/10-6 ≤
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0.4
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5
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一氧化碳(CO)含量(體積分數)/10-6 ≤
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0.3
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5
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二氧化碳(CO2)含量(體積分數)/10-6 ≤
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0.3
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10
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水分(H2O)含量(體積分數)/10-6 ≤
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3
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15
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注:液態(tài)氬不檢測水分含量。
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